高精度电容式位移传感器关键技术的研究

• 作者: 师树恒 朱健强 王斌
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 电容 位移传感器 激励电路
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-2,80
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.07.001

摘要

研制了一种高精度电容式位移传感器,详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术,对电容传感器的具体电路进行模块化设计;分析影响传感器精度与稳定性的因素,采用完全等电位屏蔽技术,对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进,最后对电容传感器进行系统标定.实验证明:该传感器测量范围为±5-±40 μm,测量分辨率《10 nm,测量精度《20 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王斌	中国科学院上海光学精密机械所联合实验室	325	6645	42.0	69.0
2	朱健强	中国科学院上海光学精密机械所联合实验室	147	1132	17.0	31.0
3	师树恒	中国科学院上海光学精密机械所联合实验室	4	33	1.0	4.0