基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用

• 作者: 张树生 成健 韩克江
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 硅微机械流体传感器 基本原理
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.03.002

摘要

传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性.随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点.硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一.按其用途进行了分类,着重介绍了流体压力传感器、流量传感器和表层摩擦力传感器.分别从各种传感器的基本原理、性能、应用范围、优缺点及其所能达到的技术指标方面进行了描述.基于MEMS的硅微机械流体传感器具有广阔的前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树生	山东大学空间热科学研究中心	33	209	8.0	13.0
2	成健	山东大学空间热科学研究中心	7	30	3.0	5.0
3	韩克江	山东大学机械工程学院	3	16	3.0	3.0