单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

• 作者: 张筱朵 王斌 秦明 黄庆安 黄晓东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 单片集成 电容接口电路 电容-频率转化
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器系统及信号处理
• 页码范围: 502-504
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.153

摘要

介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80～110 kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa.