线阵CCD微小尺寸测量的应用及误差分析

• 作者: 傅辉清 刘海波 杨博雄 路杰 陈志高
• 来源期刊: 大地测量与地球动力学
• 学科: 工学
• 关键词: 线阵CCD 微小尺寸 无接触测量 衍射 误差分析
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 观测技术
• 页码范围: 119-121
• 页数: 3页
• 分类号: TP274
• 字数: 1692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5942.2007.02.023

摘要

利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量,具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路杰		18	60	6.0	7.0
3	陈志高		35	208	6.0	14.0
5	刘海波		17	70	6.0	7.0
9	杨博雄		23	297	9.0	16.0
17	傅辉清		10	157	6.0	10.0