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摘要:
从高分子辐射化学的角度对电子束环氧基负胶曝光的实际反应机理进行了深入的分析研究.通过Charlesby-Pinner关系式推导得出辐射交联反应中一些表征量(溶胶分数等)与辐射剂量的定量关系.通过SDS-Ⅱ型曝光机对环氧Epoxy1618进行曝光实验,验证了上述结论的准确性,该论证结果用于指导电子束曝光参数的选取.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
来源期刊 微细加工技术 学科 工学
关键词 电子束负胶 环氧基团 辐射交联 溶胶分数 charlesby-Pinner关系式
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目 电子束技术
研究方向 页码范围 1-4,30
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 3567字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张玉林 18 76 5.0 8.0
2 卢文娟 12 47 4.0 6.0
3 孔祥东 12 74 4.0 8.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
电子束负胶
环氧基团
辐射交联
溶胶分数
charlesby-Pinner关系式
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微细加工技术
双月刊
1003-8213
43-1140/TN
大16开
湖南省长沙市
1983
chi
出版文献量(篇)
672
总下载数(次)
2
相关基金
山东省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Shandong Province
官方网址:http://kyc.wfu.edu.cn/second/wnfw/shandongshengzirankexuejijin.htm
项目类型:重点项目
学科类型:
论文1v1指导