石英管型MWPCVD法制备的纳米针状结构碳膜的场发射特性

• 作者: 吴宝嘉 李哲奎 金哲 金逢锡 顾广瑞
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射 碳膜 纳米针 微波等离子体化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 535-540
• 页数: 6页
• 分类号: TN873.95
• 字数: 3442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.008

摘要

利用石英管型微波等离子体化学气相沉积装置,在Si基板上制备了具有纳米针状结构的碳膜.场发射特性测试表明,纳米针状结构碳膜具有良好的场发射特性,阈值电场为2.2 V/μm,外加电场为9 V/μm时,电流密度达到65 mA/cm2.利用统计效应修改了Fowler-Nordheim (F-N) 模型,成功地解释了在低电场区域的场发射机理.但是利用修改的F-N模型,不能解释高电场区域的电流密度的饱和现象,这将有待于进一步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾广瑞	延边大学理学院	26	115	5.0	10.0
2	李哲奎	延边大学理学院	10	58	5.0	7.0
3	金哲	延边大学理学院	11	32	3.0	5.0
4	金逢锡	延边大学理学院	8	68	3.0	8.0
5	吴宝嘉	延边大学理学院	17	28	3.0	4.0