三氟化氮纯化方法进展

• 作者: 付嫚 彭立培 李绍波 王少波
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三氟化氮 纯化 精馏 吸收 吸附
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 86-90,94
• 页数: 6页
• 分类号: TQ028.1
• 字数: 4339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9533.2007.01.021

摘要

介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法.为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王少波	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	66	209	7.0	11.0
2	付嫚	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	7	8	2.0	2.0
3	李绍波	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	20	66	5.0	7.0
4	彭立培	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	13	24	3.0	4.0