中高频声表面波关键材料与应用研究

• 作者: 刘明 刘积学 曾飞 潘峰
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波材料 叉指换能器材科 ZNO薄膜 多层复合膜 电子束直写技术
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页数: 1页
• 分类号: TB381

摘要

随着第三代通讯技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,从最初的数MHz发展到现在的数GHz,如应用于1.9GHz的个人通讯服务系统,2.4GHz的无线局域网络系统及高于5GHz无线多端发送系统。这些高频应用系统的不断发展显著增大了高频声表面波器件的市场需求以及对相关材料与器件研究的兴趣。介绍近年来在中高频声表面波材料与应用方面所作的一些研究工作,主要进展有:(1)采用纳米级金属(Ti、Zr、Ni)过渡层,并通过适量添加Mo等微合金元素,研制出多种具有高抗电迁移和功率耐受性的叉指换能器材料,制备的滤波器频率达到2.4GHz;(2)成功解决Si、金刚石、ZnO、Al多层材料间声匹配问题,获得可用于高频声表面波器件制作的高品质材料,ZnO薄膜具有高度C轴取向(类单晶结构),制作得器件频率达3GHz。(3)将藕合模(COM)和镜像耦合理论成功应用于多层复合膜声表面波器件的设计,发展出具有自主知识产权的设计平台和相关软件;(4)针对高频声表亚200纳米密集叉指换能器和毫米级汇流条同时曝光的挑战,发展了一种新的分层分剂量进行临近效应修正电子束直写技术,制备出线宽达0.2μm的声表面波器件(中心频率为3～4G...

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘峰	清华大学材料系清华大学材料系	30	196	6.0	13.0
2	曾飞	清华大学材料系清华大学材料系	12	14	2.0	3.0
3	刘明	清华大学材料系清华大学材料系	22	167	7.0	12.0
4	刘积学	清华大学材料系清华大学材料系	1	0	0.0	0.0