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摘要:
为满足行业配套组件的发展需求,研制了一种新型复合压力传感器.该传感器采用分体结构设计,将压力信号转换成深度信号,利用精密的信号处理电路,将微弱的深度信号进行放大、比较等处理,可同时输出连续量电信号和阶跃量信号.该传感器具有精度、过载倍数和可靠性高,温度系数小,耐腐蚀等特点,整体性能均高于单一功能类的产品.
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耐高温微型压力传感器设计
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SOI芯片
梁膜结构
耐高温
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 复合压力传感器研制
来源期刊 微纳电子技术 学科 工学
关键词 传感器 耐腐蚀 开关信号
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 物理量传感器
研究方向 页码范围 291-293
页数 3页 分类号 TP212.1
字数 1826字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.092
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 金琦 6 5 1.0 2.0
2 李长春 2 1 1.0 1.0
3 杨勇 2 1 1.0 1.0
4 郭丽娟 3 7 1.0 2.0
传播情况
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引文网络
引文网络
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共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
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2007(0)
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研究主题发展历程
节点文献
传感器
耐腐蚀
开关信号
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微纳电子技术
月刊
1671-4776
13-1314/TN
大16开
石家庄市179信箱46分箱
18-60
1964
chi
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
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