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光学工艺 微细加工技术与设备
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摘要：
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微细电解加工技术的发展现状
微细电解加工
脉冲电源
掩膜
铣削加工
复合电解加工
研究现状
CAD/CAM的电化学微细加工技术
微细加工, CAD/CAM, 电化学展成加工
棉种加工技术与设备专利战略
棉种加工
技术
设备
专利战略
微细电火花加工的关键技术分析
微细电火花加工
微型进给装置
微能脉冲电源
模糊控制
特种加工
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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文献信息
| 篇名 | 光学工艺 微细加工技术与设备 | ||
| 来源期刊 | 中国光学与应用光学文摘 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 电子束 微细加工 表面粗糙度 酞菁类化合物 光波导 刻蚀工艺 超高真空 技术与设备 光学工艺 曝光技术 | ||
| 年，卷（期） | 2007,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 95 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TG665 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
电子束
微细加工
表面粗糙度
酞菁类化合物
光波导
刻蚀工艺
超高真空
技术与设备
光学工艺
曝光技术
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国光学
主办单位：
中国科学院长春光学
精密机械与物理研究所
中国光学学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
2095-1531
CN：
22-1400/O4
开本：
大16开
出版地：
吉林省长春市东南湖大路3888号
邮发代号：
12-140
创刊时间：
1985
语种：
chi
出版文献量（篇）
2372
总下载数（次）
8
总被引数（次）
11606
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