MEMS传感器和智能传感器的发展

• 作者: 刘凯 邹德福 陈志东 马丽敏
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 智能传感器 集成
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 9-10,66
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 3239字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.09.004

摘要

MEMS传感器和智能传感器是新型传感器的代表,具有集成化和智能化的特点.介绍了2种传感器的最新发展状况,包括测量精度、灵敏度、体积、转化机理、融合理论等方面.列举了2种传感器的应用实例,如仿生机器人、微纳卫星、计算机视觉系统等.分析了传感器发展的趋势,涉及精度、可靠性、微型化、微功耗、智能化、数字化等方面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘凯		13	262	6.0	13.0
2	陈志东		15	227	5.0	15.0
3	马丽敏		8	245	6.0	8.0
4	邹德福		7	219	5.0	7.0