微细加工技术的发展及应用

• 作者: 李建勋 杨洋 胡晓兵
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 微机械 微机电 微电子
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 专题论坛及综述
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 字数: 4585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2007.04.033

摘要

微细加工技术是现代加工技术手段的新发展,是二十一世纪关键技术之一.本文介绍了微机械与微细加工技术的发展过程、技术特点以及相关理论基础,并具体阐述了微细加工技术的应用、发展的意义、存在的问题及发展要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓兵	四川大学制造科学与工程学院	99	1049	17.0	29.0
2	杨洋	四川大学制造科学与工程学院	154	1365	19.0	32.0
3	李建勋	四川大学制造科学与工程学院	4	150	3.0	4.0