LICVD法制备纳米Si3N4粒子及红外光谱特性

• 作者: 何晓雄 李道火 王锐 高峰
• 来源期刊: 浙江大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光诱导化学气相沉积 双光束激励 氮化硅 红外吸收光谱
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 290-293,298
• 页数: 5页
• 分类号: O411
• 字数: 3262字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1008-9497.2007.03.012

摘要

采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7～15 nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光诱导化学气相沉积装置中加一束正交的紫外光束,以促进NH3分子光解,从而减少游离硅的存在,提高N/Si原子数比.观察到了红外吸收光谱中的"蓝移"和"宽化"现象,并认为这些现象是由表面效应和量子尺寸效应造成的.同时,红外吸收光谱的反常现象也验证了粉体的纳米特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高峰	合肥工业大学理学院	49	374	11.0	16.0
2	何晓雄	合肥工业大学理学院	65	317	10.0	13.0
3	王锐	合肥工业大学理学院	28	247	9.0	14.0
4	李道火	中国科学院安徽光机所	25	254	10.0	15.0