基于80C196KC的单晶炉等径控制系统设计

• 作者: 成秋云 易臻希 谭何军
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 80C196KC 等径控制
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TB304.05
• 字数: 1365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.04.016

摘要

等径生长控制系统是单晶炉上的重要组成部分,其性能对于单晶的生长至关重要.以80C196KC单片机作为控制系统的核心部件,采用PID算法以及其他的软硬件设计,实现了一整套单晶炉生长控制的设计方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易臻希	中国电子科技集团公司第四十八研究所	6	10	2.0	3.0
2	成秋云	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	7	1.0	2.0
3	谭何军	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	7	1.0	1.0