双通道声表面波转速传感器

• 作者: 严庆文 朱嘉林 李业隆 沈美娥 魏益群
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 陀螺效应 角速力传感器
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 260-262
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 1902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.083

摘要

以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器.通过实验,该传感器的分辨率为12 Hz/r·s-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈美娥		25	209	9.0	13.0
2	魏益群		3	10	2.0	3.0
3	朱嘉林		50	167	7.0	10.0
4	李业隆		9	18	3.0	4.0
5	严庆文		5	11	2.0	3.0