超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究

• 作者: 冯侨华 施云波
• 来源期刊: 哈尔滨理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光精密加工 激光划片 激光调阻 超薄型Pt膜温度传感器
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 数理科学
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: O439|TP212.11
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2683.2007.05.015

摘要

为了掌握采用激光微加工技术加工超薄型Pt膜温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调Q原理的Nd-YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光工艺参数与传感器基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调-阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精确度的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯侨华	哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院	17	84	6.0	8.0
2	施云波	哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院	54	262	9.0	12.0