应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计

• 作者: 李文萍 顾文琪
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 静电透镜 阻尼最小二乘法 工作模式 束流密度分布
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 829-834
• 页数: 6页
• 分类号: TN16|TH703
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.06.005

摘要

在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计.给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统,并研究了像平面处的离子束性能.采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数,并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目标.选取工作模式时综合考虑了系统的光学性能和可实现性,大束流下采用平行模式,小束流下采用交叉模式,设计的透镜系统在大、小束流下分别选轴上像差和放大倍数为优化目标.计算表明,2 nA束流下像差为16.33 nm,放大倍数为-0.539 095 5,束斑直径为31.52 nm;2.5 pA束流下像差为2.15 nm,放大倍数为0.084 359 9,束斑直径为4.73 nm.此离子光柱体能够获得纳米量级的离子束,并且只需调整第二透镜第二、第三电极之间的距离以及第二电极电位(对源)就能改变样品处的束能,增加了光柱体的应用范围,实现了一套系统内同时具有刻蚀、沉积、注入和离子成像等功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
2	李文萍		3	4	1.0	1.0