移相干涉仪的抗振技术研究进展

• 作者: 何祖斌 柴立群 许乔 邓燕
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 振动 移相干涉仪 抗振技术
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 416-419
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 4475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2007.03.008

摘要

在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用.但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响.提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛重视.国际上移相干涉仪的抗振技术主要包括主动抗振和被动抗振两方面,两种技术具有各自特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	柴立群		32	329	12.0	16.0
3	邓燕		15	144	8.0	11.0
4	何祖斌		1	5	1.0	1.0