适用于小型生产线运行的单晶圆清洗技术的实现

• 作者: Takeshi Hattori
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶圆清洗 小型生产线 湿法清洗 金属去除 表面污染控制
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 专题报道(清洗技术与设备)
• 页码范围: 16-23
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.97
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.06.005

摘要

利用臭氧消毒水和淡氟氢酸清洗技术,使设备生产厂家的单晶圆旋转清洗工艺适应向小型生产线转入的应用,从而使生产周期的缩短成为可能.