MEMS固态风速风向传感器的设计与制作

• 作者: 庞程 杜利东 赵湛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 ANSYS分析 风速风向 硅薄膜 硅悬梁
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.078

摘要

风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位.基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点.设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系.用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号.制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵湛		8	53	4.0	7.0