DMD的动力分析

• 作者: 刘霞芳 田文超
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微镜装置(DMD) 微电子机械系统(MEMS) 静电力 粘附力
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 493-495
• 页数: 3页
• 分类号: TH744
• 字数: 2349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2007.04.039

摘要

数字微镜装置(DMD)是微电子机械系统(MEMS)的典型器件,是数字光处理(DLP)的核心.应用积分法推导出DMD倾斜极板电容静电转矩表达式;由微观连续介质理论,推导出粘附力矩表达式;根据机电动力学原理,建立了DMD动力学模型,并进行数值仿真.通过同实验数据比较,得到了满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0
2	刘霞芳	西安电子科技大学机电工程学院	1	3	1.0	1.0