连续式炉

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 连续式炉 烧结工艺 间歇式 温度和气氛控制
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 专题报道(半导体前道制造技术)
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TF063
• 字数: 5398字
• 语种: 中文

摘要

引导读者考虑把烧结工艺从间歇式炉转换成连续式炉,然后介绍了连续式炉的许多特点.目前在烧结工艺中采用连续式炉的读者可以了解部分新型温度和气氛控制功能,其它读者则可以概括了解构成连续式炉的各个部分.