二维MEMS风速风向传感器的设计与测试

• 作者: 吴剑 张骅 沈广平 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二维风速传感器 风向传感器 剥离工艺 热温差原理
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 285-287
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.090

摘要

给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周.传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差原理测量风速和风向.经过风洞测试,传感器可以完成360°风向检测,误差不超过10°.