纳米晶非挥发性存储器研究进展

• 作者: 刘明 刘琦 李志刚 管伟华 胡媛 贾锐 龙世兵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米晶 非挥发性存储器 分立电荷存储 纳米晶存储器
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 225-230
• 页数: 6页
• 分类号: TP333.5
• 字数: 4928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.05.002

摘要

介绍了纳米晶非挥发性存储器的发展状况和基本工作原理,比较了纳米晶非挥发性存储器所涉及到的各种不同的电荷输运机制,系统介绍了纳米晶非挥发性存储器在纳米晶材料设计、纳米晶晶体生长控制方法、隧穿/控制介质层工程和新型存储器器件结构等方面的一些最新研究进展,对纳米晶非挥发性存储器的研究趋势进行了展望.