基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计

• 作者: 张斌珍 李旭 秦丽 胡杰
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 共振隧穿微结构 加速度计 GaAs
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 7-8,17
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.23|TH824.4
• 字数: 2250字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2007.11.004

摘要

介绍了一种基于共振隧穿微结构的GaAs基四梁式加速度计,设计了共振隧穿微结构以及GaAs基加速度计的结构,分析了加速度计的力学特性,讨论了加速度计的加工工艺,并利用该工艺在国内首次制作出加速度计.在分析了串联电阻的影响后,设计了加速度计的输出信号提取电路,并通过实验测试了该加速度计的线性度和灵敏度.结果表明:该加速度计的输出具有较好的线性度,而灵敏度比硅材料的最大压阻灵敏度高一个数量级,适合于高精度测试场合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦丽	中北大学电子测试技术国家重点实验室	81	421	11.0	15.0
2	张斌珍	中北大学电子测试技术国家重点实验室	107	535	12.0	18.0
3	李旭	中北大学电子测试技术国家重点实验室	12	30	3.0	5.0
4	胡杰	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	7	2.0	2.0