铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟

• 作者: 卢云 徐志农 车录锋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度传感器 封装 有限元模拟
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 199-205
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.17
• 字数: 2570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.02.009

摘要

给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析.首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前十阶模态频率特性.灌封胶弹性模量对封装后加速度传感器整体结构的振动模态有一定的影响,封装结构同一振型的模态频率随着灌封胶弹性模量的增大而增大,但是灌封胶弹性模量很小时(E≤1 GPa)会导致加速度传感器信号失真.模拟结果表明,可以选择弹性模量足够高的材料(E＞9 GPa)作为高冲击加速度传感器的灌封材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐志农	浙江大学机械与能源工程学院	34	260	9.0	14.0
2	车录锋		7	62	5.0	7.0
3	卢云		3	17	2.0	3.0