大型X射线光学仪器:单层镜和多层镜的制造与表征

• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光学 多层膜反射镜 全反射镜 X射线反射测量 磁控溅射 同步辐射 自由电子激光器
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 2007中德双边高级专家X射线光学研讨会专栏
• 页码范围: 1869-1877
• 页数: 9页
• 分类号: O434.19|TH703
• 语种: 中文

摘要

150～500 mm长度的各种X射线光学元件可用于光束导引,光束调整,以及单色化.本文介绍了两种不同的大型X射线反射镜.第一种为单层反射镜,这种反射镜以2°掠入射角在软X射线区(50～200 eV)起全反射镜作用,可用于自由电子激光器,如德国汉堡的FLASH.第二种是多层镜,由于它的布喇格反射特性,适于作为反射镜以0.4～1°的入射角用于硬X射线区(20～50 keV),如层析光束线的同步辐射存储环中.两种反射镜都用最新物理汽相淀积法制备,并用磁控溅射来实现X射线光学应用所需要的优良光学品质.这一淀积工艺使不同批次的镀膜稳定性良好,有利于实际反射镜在优质衬底上的最后淀积.单层镜和多层镜在它们的相关能量范围内都有很高的反射率,表面粗糙度也很低,且在整个光学波长区这些特性表现均匀.文中所叙相关研究都是借助X射线反射计量(XRR)法,透射电子显微镜(TEM)、光学轮廓仪(OP),以及原子力显微镜(AFM)完成的.