超精密加工现状综述

• 作者: 吕冰海 戴勇 文东辉 王志伟 袁巨龙
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 经济
• 关键词: 超精密加工 磨粒加工 半固着磨粒加工
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 庆祝中国机械工程学会成立70周年
• 页码范围: 35-48
• 页数: 14页
• 分类号: F4
• 字数: 13052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2007.01.006

摘要

超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段.精密光学、机械、电子系统中所用的先进陶瓷或光学玻璃元件通常需要非常高的形状精度和表面精度(如0.1 nm级表面粗糙度)及较小的加工变质层.掌握超精密加工过程中材料去除规律和损伤层特性对提高加工的稳定性与经济性十分重要.对超精密加工中的超精密切削、超精密磨削和超精密研磨抛光技术进行综述,重点介绍各种典型加工方法及其材料去除机理.从加工精度和加工效率角度对上述几类超精密加工方法进行比较,介绍以实现高效精密加工为目的的半固着磨粒加工技术.对超精密加工的发展趋势进行预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志伟	浙江工业大学超精密加工研究中心	18	478	7.0	18.0
2	袁巨龙	浙江工业大学超精密加工研究中心	116	1467	19.0	35.0
3	戴勇	浙江工业大学超精密加工研究中心	22	436	7.0	20.0
4	文东辉	浙江工业大学超精密加工研究中心	58	714	12.0	25.0
5	吕冰海	浙江工业大学超精密加工研究中心	51	710	11.0	26.0