MEMS的协同仿真

• 作者: 宋少云
• 来源期刊: 计算机仿真
• 学科: 工学
• 关键词: 多场耦合 协同仿真 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 仿真应用研究
• 页码范围: 282-285
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.77
• 字数: 4918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9348.2007.04.076

摘要

仿真是微机电系统(MEMS) 设计的重要手段.目前MEMS中的集成仿真方法对设计人员要求太高从而限制了其使用范围.为了充分发挥仿真在MEMS设计中的作用,把协同设计的思想引入MEMS仿真中,提出了协同仿真的设计方式.构建了MEMES的协同仿真框架,分析了其仿真流程和数据文件的构成,并阐述了节点载荷映射的混合法.最后对一个MEMS器件进行协同仿真并与集成仿真的结果进行了比较,证明了方法的可行性.