微机械Golay腔型红外探测器的研究

• 作者: 万助军 吴亚明 徐静 赵本刚 高翔
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 红外探测器 气动 Golay腔
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN21
• 字数: 4103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.03.006

摘要

通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器.计算其灵敏度为2700pF/W、噪声等效功率为8.4×10(-8)W/Hz(1/2)和响应时间为0.5ms.利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响.