叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计

• 作者: 许万里
• 来源期刊: 电脑知识与技术：学术交流
• 学科: 工学
• 关键词: 敏感元件 叉指电极 分布电阻 计算软件
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 页码范围: 161-163
• 页数: 3页
• 分类号: TN379

摘要

本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导。并根据理论公式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许万里		9	31	4.0	5.0