磷化铟中铁原子替位与填隙的热致转变及其对材料性质的影响

• 作者: 吕小红 杨俊 王博 苗杉杉 董志远 赵有文 邓爱红
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磷化铟 铁激活 退火 半绝缘
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 5536-5541
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 5101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.09.092

摘要

高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC),深能级瞬态谱(DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后InP材料的性质和缺陷.结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变.通过比较掺杂、扩散和离子注入过程Fe原子的占位和激活情况分析了这一现象的机理和产生原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓爱红	四川大学物理学院应用物理系	26	66	5.0	6.0
2	王博	四川大学物理学院应用物理系	34	142	7.0	11.0
3	杨俊	四川大学物理学院应用物理系	29	94	6.0	8.0
4	赵有文	中国科学院半导体研究所	42	217	7.0	11.0
5	吕小红	中国科学院半导体研究所	3	8	1.0	2.0
6	董志远	中国科学院半导体研究所	25	154	7.0	11.0
7	苗杉杉	四川大学物理学院应用物理系	4	24	3.0	4.0