微电子技术发展方向刍议

• 作者: 吴孝丽 周焱
• 来源期刊: 内江科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子技术 集成电路 技术趋势
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 技术创新
• 页码范围: 120,190
• 页数: 2页
• 分类号: TN4
• 字数: 4862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1436.2007.10.096

摘要

本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非硅材料的发展情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴孝丽		13	29	3.0	5.0
2	周焱		10	13	2.0	3.0