Ta2O5材料光学常数的拟合及其在近紫外到近红外波段应用

• 作者: 庄秋慧 段微波 穆岩
• 来源期刊: 长春理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 色散 吸收 光学常数
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2008.04.013

摘要

Ta2O5在近紫外到近红外波段作为高折射率材料有着广泛的应用,由于色散和吸收,Ta2O5在不同波段的光学常数不尽相同.此外,不同的制备条件下,Ta2O5材料的光学常数也会出现差异.如何精确得出Ta2O5材料在确定工艺条件下的光学常数成了薄膜工作者关心的话题.本文介绍了一种采用电子枪蒸发并加以离子束辅助技术制备Ta2O5薄膜的方法,对薄膜从近紫外到近红外的光学常数进行了拟合,并举例说明了Ta2O5材料在近紫外波段的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄秋慧	重庆工学院电子信息与自动化学院	6	13	2.0	3.0
2	段微波		1	1	1.0	1.0