干涉法实时测量浅度非球面技术

• 作者: 张学军 王丽辉 王孝坤
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 非球面 干涉术 非球面度 最小二乘拟合
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 184-189
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171.65|O436.1
• 字数: 2011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.02.002

摘要

提出了一种实时干涉检测非球面的新方法,该方法无需补偿器、计算全息图等辅助元件就能实现对浅度非球面的测量.对非球面度较小的非球面,直接利用标准球面镜作为参考表面,通过数字干涉仪可以测得全孔径位相分布,将所得的数据剔除参考球面波相对理论非球面的偏差,并运用最小二乘拟合求得机构定位误差,消去此误差,即可获得真实的面形信息.利用该方法对一口径为350 mm的浅度双曲面进行了测量,通过数据分析和处理得到面形误差的PV值和RMS值分别为0.387 λ和 0.048 λ(λ=632.8 nm),将该结果与零位补偿的检测结果相比较,两面形分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为0.033 λ和0.006 λ,说明该技术用于检测浅度非球面是切实可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0