大角度离子注入机控制系统软件设计

• 作者: 伍三忠 吴学忠
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大角度离子注入机 系统软件 软件模块 软件结构
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 3256字
• 语种: 中文

摘要

介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍三忠		4	10	2.0	3.0
3	吴学忠		70	934	18.0	28.0