数字散斑相关技术在微结构平面运动测试中的应用

• 作者: 田淑英 胡小唐 胡晓东 陈治
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 数字散斑相关技术 频闪成像 平面运动
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 450-453
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.21
• 字数: 2829字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.06.010

摘要

微结构是微器件或微系统的基本组成部分,对其运动特性的测试有助于对器件或系统的性能和稳定性进行评价.为此,针时频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,对数字散斑相关技术应用于微结构平面运动特性测试的实现方法进行了探讨,采用梯度法实现全局刚性位移的精确测量,并作为牛顿遮代法的初值进行区域变形量的提取,具有较高的计算效率.SiC RF微谐振器平面运动特性测试实验表明,微结构平面刚性位移测量的分辨率和偏差分别能够达到1/100像素和1/20像素,区域变形信息提取的有效性也得到了初步验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	陈治	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	19	81	6.0	8.0
3	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
4	田淑英	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	9	1.0	1.0