MEMS中微结构动态测试技术进展

• 作者: 刘冲 王晓东 王涛 王立鼎
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 动态测试 微结构 光学测试
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 学科发展
• 页码范围: 83-88
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TH74
• 字数: 5615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.01.021

摘要

MEMS功能主要通过微结构部件的微小位移和变形实现,故其动态性能测试至关重要,但MEMS结构由于其尺寸小,传统的动态测试方法已经难以达到要求,而光学测试技术是非接触测量,且具有定位准确、测试精度高、响应快的特点,使其在MEMS结构动态测试中发挥着越来越重要的作用.介绍并分析了频闪显微干涉、计算机微视觉、激光多普勒测振、电子散斑干涉和光纤测试等MEMS动态测试技术,讨论了其应用场合和测试范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东		115	1141	19.0	28.0
2	刘冲		156	1345	17.0	30.0
3	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
4	王涛		35	307	11.0	15.0