MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法

• 作者: 佘东生 杨洋 王晓东 王涛 王立鼎
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统微构件 动态特性的测试 激励方法
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 377-386
• 页数: 10页
• 分类号: TH703|TH825
• 字数: 5814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2008.05.001

摘要

在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法.具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	115	1141	19.0	28.0
3	王立鼎	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	130	1877	24.0	38.0
7	佘东生		4	41	4.0	4.0
10	杨洋		1	16	1.0	1.0
11	王涛		1	16	1.0	1.0