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摘要:
扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论.结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高.
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文献信息
篇名 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 MEMS扫描微镜 高速转动 动态形变 光学分辨率
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目 MEMS专集
研究方向 页码范围 640-643
页数 4页 分类号 TN202
字数 2606字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.027
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 35 193 9.0 11.0
2 穆参军 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 3 25 2.0 3.0
3 赵本刚 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2 9 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS扫描微镜
高速转动
动态形变
光学分辨率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
论文1v1指导