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高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
作者:
吴亚明
穆参军
赵本刚
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MEMS扫描微镜
高速转动
动态形变
光学分辨率
摘要:
扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论.结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高.
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文献信息
篇名
高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
MEMS扫描微镜
高速转动
动态形变
光学分辨率
年,卷(期)
2008,(4)
所属期刊栏目
MEMS专集
研究方向
页码范围
640-643
页数
4页
分类号
TN202
字数
2606字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.027
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
35
193
9.0
11.0
2
穆参军
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
3
25
2.0
3.0
3
赵本刚
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2
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引证文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS扫描微镜
高速转动
动态形变
光学分辨率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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