高温环境下 MEMS 微构件动态特性测试技术研究

• 作者: 佘东生 张涛 李晓轲 王晓东 王立鼎
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 动态特性测试 高温 放电激励 激光多普勒测振仪
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 78-83
• 页数: 6页
• 分类号: TH825
• 字数: 3422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2010.01.015

摘要

基于放电激励方法建立了高温环境下 MEMS 微构件动态特性测试系统, 该系统主要由激励装置、激光多普勒测振仪、微构件温度控制系统组成. 激励装置利用尖端放电产生的激波激励微构件, 通过进给机构调节电极间距以改变激励能量. 激励底座是用高温胶粘接而构成的多层结构, 包括微构件安装板、十字载台、陶瓷绝缘片和板电极. 微构件胶粘在底座上, 其振动响应信号由多普勒测振仪测量, 计算机对测量数据频谱分析后得到谐振频率. 编写了基于 LabVIEW 的微构件温度控制软件, 控制测试时温度. 利用该测试系统, 测试了微构件在室温～500 ℃环境下的谐振频率, 得到了谐振频率随温度变化规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓东		115	1141	19.0	28.0
3	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
7	佘东生		4	41	4.0	4.0
10	李晓轲		1	7	1.0	1.0
11	张涛		1	7	1.0	1.0