MEMS 微结构静态测试技术的发展及应用

• 作者: 卢清华 张立平
• 来源期刊: 佛山科学技术学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 静态测试 微几何 微机械 微视觉测量
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 机电与自动化
• 页码范围: 5-9
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.8
• 字数: 3233字
• 语种: 中文

摘要

对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是 MEMS 静态测试技术的一个主要发展方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢清华	佛山科学技术学院机电工程系	44	158	7.0	10.0
2	张立平	佛山科学技术学院机电工程系	10	21	3.0	4.0