基于模型的晶体生长控制技术的研究

• 作者: 代峰燕 纪文纲
• 来源期刊: 北京石油化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: Modbus-TCP 晶体生长 提拉法
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 2854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-2565.2008.01.002

摘要

上称重提拉法晶体生长模型由上缩颈、放肩、等颈、收肩、下缩颈和收尾拉脱等组成,每种晶体分别配有不同的生长模型,由监控站根据工艺要求指定执行对应的生长程式.为确保生长程式的集中发布和准确执行,系统采用基于Modbus-TCP的可编程控制器,将生长工艺发送至生产设备.晶体重量与温度回路采用串级控制,数据表明晶体生长稳定,等颈误差小于±0.2 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代峰燕		30	285	9.0	16.0
2	纪文纲		1	9	1.0	1.0