PLD法制备氧化锌薄膜生长机制及发光特性的研究

• 作者: 于永强 仇旭升 刘炳龙 孔明光 梁齐 汪壮兵 章伟 谢可可
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 物理学
• 关键词: ZNO薄膜 PLD XRD PL谱
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1

摘要

利用PLD法在Si衬底上成功地制备了具有较好c轴择优取向生长的ZnO薄膜，从样品的XRD谱可以看出在环境氧压为20Pa，衬底温度为700℃时生长的样品的XRD谱（002）峰半高宽较窄，膜的结晶程度最好。不同的衬底温度下膜的生长机制也不一样，主要有：V-L-S机制和V-S机制。样品室温下的PL谱显示所有样品均出现UV发射和可见光区蓝绿光发射，而蓝绿光发射强度随氧压的增大而增强，表明样品的蓝绿光发射来源于样品中的受主缺陷。