基于光谱能量分析的介质厚度测量方法

• 作者: 陈志超
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 光谱能量分析 厚度检测 光谱仪
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1760字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2008.01.005

摘要

介绍了一种对厚度很小的平行玻璃平板厚度的高精度测量方法.通过激光束垂直照射被测物,用光谱仪接受并分析反射光各波长的能量.以此数据分析出介质对不同波长光线的反射率,找出反射率极大的波长.使用这些具有反射极大的波长进行计算,就得到介质的厚度值.该测量方案结构简单,测量精度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志超	西安工业大学光电工程学院	4	17	3.0	4.0