快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响

• 作者: YANG Ping-Xiong 杨平雄 秦苏梅 童梓洋 邓红梅
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米二氧化锡 溶胶-凝胶法(sol-gel) 快速热退火(RTA)
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 101-104
• 页数: 4页
• 分类号: O4.47
• 字数: 3652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2008.02.005

摘要

以SnCl2·2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法在快速热退火下制备了SnO2纳米薄膜,研究了快速热退火(RTA)对SnO2薄膜性质的影响.采用X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM),研究了薄膜的晶粒尺寸、微结构、表面形貌与快速热退火条件的关联,用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和光致发光研究了薄膜的光学性质.结果表明,快速热退火(RTA)温度对薄膜的光学性质、晶粒尺寸和薄膜的结构形态均有较大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦苏梅	华东师范大学信息学院	3	17	2.0	3.0
2	邓红梅	上海大学分析测试中心	15	22	2.0	4.0
3	童梓洋	华东师范大学信息学院	3	17	2.0	3.0
4	杨平雄	华东师范大学信息学院	17	25	2.0	4.0
5	YANG Ping-Xiong	华东师范大学信息学院	1	12	1.0	1.0