粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜

• 作者: 张颖欣 王倩 田芳 裘南畹 郭晓丽
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 粉未溅射 最佳膜厚 响应时间
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 99-101,106
• 页数: 4页
• 分类号: TF123
• 字数: 1806字
• 语种: 中文

摘要

利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2 (100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜厚lx的数值;给出了响应时间随膜厚变化的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裘南畹	山东大学物理学院	23	36	3.0	4.0
2	田芳	山东大学化学与化工学院	15	159	6.0	12.0
3	郭晓丽		2	11	2.0	2.0
4	张颖欣		1	3	1.0	1.0
5	王倩		1	3	1.0	1.0