高场非对称波形离子迁移谱仪的初步研究

• 作者: 张文栋 熊继军 王志刚
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高场非对称波形离子迁移谱 微电子机械系统 补偿电压 分辨率 灵敏度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 158-161
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TP216
• 字数: 1443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.03.007

摘要

介绍了一种基于高场非对称波形离子迁移谱技术的生化检测方法,它根据各种离子在高电场中迁移率变化不同的特性实现对各种生化物质进行检测.经过理论计算,分析了高场非对称波形离子迁移谱仪的基本原理,推导出补偿电压与非对称波形射频电压之间的关系式.但是,迁移率有效系数是一个与离子自身的性质、电场强度、温度、浓度、气压等有关的量,从理论上无法直接计算它的值.通过实验研究,发现补偿电压与非对称波形电压成线性关系.这有助于进一步认识离子在高场非对称波形离子迁移谱仪中的运动特性,同时也为提高它的性能提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
3	王志刚	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	36	2.0	2.0