MEMS中气体运动的若干微尺度效应

• 作者: Dambricourt Pierre Zahid Wasif Ali 尹游兵 朱克勤 郝鹏飞
• 来源期刊: 空气动力学学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微喷管 微槽道 分子泵 稀薄气体效应
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 页码范围: 87-92
• 页数: 6页
• 分类号: V211.25
• 字数: 4703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-1825.2008.z1.015

摘要

宏观流动到微流动不单是"量"的变化,而且有"质"的不同[1].在微流动中,由于微尺度效应,主导流动的作用力发生变化,惯性力不再占主导地位;在宏观尺度流动中可以忽略的表面效应和壁面滑移等现象,开始凸现出来,这就导致了微流动中出现了与宏观流动不同的现象和规律.本文研究微流动问题中的若干微尺度效应:包括微喷管中气体流动的特性、微槽道中的稀薄气体效应和分子泵内的流动问题.这些研究对于设计和开发新的微机械机电设备是非常重要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝鹏飞	清华大学航天航空学院	48	384	11.0	18.0
2	朱克勤	清华大学航天航空学院	69	559	14.0	21.0
3	Dambricourt Pierre	清华大学航天航空学院	1	2	1.0	1.0
4	Zahid Wasif Ali	清华大学航天航空学院	1	2	1.0	1.0
5	尹游兵	清华大学航天航空学院	1	2	1.0	1.0