硅粉常压直接氮化制备氮化硅粉的研究

• 作者: 刘传平 孙淑凤 尹少武 王立 童莉葛
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅 直接氮化 常压氮化 制备
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 230-235
• 页数: 6页
• 分类号: TQ037|TQ174.758
• 字数: 3835字
• 语种: 中文

摘要

以平均粒径为2.8μm的硅粉为原料,添加氮化硅粉作为稀释剂,对常压氮气下直接氮化制备Si3N4粉的工艺进行了研究,借助于氮氧测定仪、XRD、SEM等检测方法,分析了硅粉常压直接氮化制备Si3N4粉过程中稀释剂种类、稀释剂添加比例、氮化温度、氮化时间等因素对硅的氮化过程的影响.研究结果表明:硅粉在流动常压氮气下,当氮化温度高于1410℃时,硅的转化率迅速增加,氮化产物中β相含量也增加;通过控制稀释剂的添加种类和添加比例、氮化时间和氮化温度,可合成高α相含量的Si3N4.采用平均粒径为2.8μm的硅粉,在常压氮气下,当添加30%的α-Si3N4粉作为稀释剂、氮化温度为1550℃、氮化时间为10min时,合成了氮含量为39.4%,游离硅为0.7%,主要为α相、含部分β相的Si3N4粉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立	北京科技大学机械工程学院热能工程系	135	824	14.0	20.0
2	孙淑凤	北京科技大学机械工程学院热能工程系	33	214	9.0	13.0
3	刘传平	北京科技大学机械工程学院热能工程系	13	125	6.0	11.0
4	童莉葛	北京科技大学机械工程学院热能工程系	53	334	10.0	16.0
5	尹少武	北京科技大学机械工程学院热能工程系	24	163	7.0	12.0